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La placa de copa de succión de cerámica Oxalumina es un producto revolucionario en el campo de los sistemas de manejo de precisión. Está hecho de cerámica α-alúmina (α-al₂o₃) con una pureza de ≥99.9%, combinada con una estructura porosa diseñada para lograr una distribución óptima del vacío. En comparación con las tazas de succión de metal o polímero tradicionales, esta solución cerámica elimina por completo el riesgo de contaminación de partículas, al tiempo que puede soportar temperaturas extremas (operación continua de 1750 ° C) y ambientes corrosivos. Su microestructura única (tamaño de poro uniforme de 2 a 5 μm, densidad de 3.89g/cm³) asegura la planitud submicrona (rugosidad de la superficie RA≤0.1 μm), lo que lo convierte en la única plataforma de copa de succión profesional que puede manejar obleas semiconductores de 300 mm con una precisión de succión de ± 0.1 μm.
1. Breakthrough in Material Performance
Estabilidad térmica: sin deformación en ciclos de choques térmicos de 800 ° C, y una vida útil 5 veces más larga que la de las tazas de succión de aleación (entorno de proceso de alta temperatura).
Resistencia química: la pérdida de peso a 1 año de la inmersión en ácido sulfúrico al 30% es inferior a 0.01 g, adecuada para la operación de electrolitos de la batería y el proceso de deposición de vapor químico.
Rendimiento de aislamiento: la intensidad del campo de descomposición alcanza los 40 kV/mm, asegurando un funcionamiento seguro en la cámara de grabado de plasma.
2. Innovación de diseño de ingeniería
Control de porosidad: el 40% de porosidad se logra a través del proceso de moldeo por inyección de gel, y la estructura de la pared de poros de 1-3 μm previene las partes ultrafinas (≤50 μm) de la adsorción y la deformación.
Arquitectura inteligente: el sensor de temperatura incorporado admite la gestión térmica en tiempo real de -196 ℃ hasta un entorno de temperatura ultra alta.
